TRCX应用:显示面板工艺裕量分析
制造显示面板的主要挑战之一是研究由工艺余量引起的主要因素如CD余量掩膜错位和厚度变化。TRCX提供批量模拟和综合结果包括分布式计算环境中的寄生电容分析以改善显示器的电光特性并最大限度地减少缺陷。a参照物b膜层未对准

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